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 滅菌特種氣體主要應用于（繃帶、縫線及手術器具）、包裝、紡織品、橡塑制品、化妝、糧食等產品及貯藏方面的殺菌。特種氣體指半導體生產環(huán)節(jié)中，比如延伸、離子注進、摻和、洗滌、 遮掩膜形成過程中使用到一些化學氣體，也就是氣體類別中的電子氣體，特種氣體的重要性：電子特種氣體決定了集成電路的終良率和可靠性。由于電子氣體用途多，用量大。所以電子氣體也直接決定了 終芯片的良率和可靠性，

 特種氣體的儲存注意事項：儲存高壓氣體≥300m，液化氣≥3000kgs時，儲存場所需要經過縣級以上相關單位批準。高壓容器儲存場所出入口及顯眼處，需設有安全警示牌。特種氣體分類：標準氣體嚴格意義上應稱為標準校正氣體，是一種高度均勻， 穩(wěn)定性良好和量值準確的氣體，可分為單元標準氣體和多元標準氣體，目前標準氣基本 滿足了我國石油、化工、環(huán)保、傳感器校核等諸多領域的需求，特種氣體的儲存注意事項：儲存場地的道路，應占整個場地面積的20%以上。充填容器和空容器需要明確區(qū)分存放。充填容器入庫前需檢漏，長期存放的充填高壓容器需要每月復檢一次，并做記錄。

特種氣體的儲存注意事項：儲存場地的道路，應占整個場地面積的20%以上。充填容器和空容器需要明確區(qū)分存放。充填容器入庫前需檢漏，長期存放的充填高壓容器需要每月復檢一次，并做記錄。滅菌特種氣體主要應用于（繃帶、縫線及手術器具）、包裝、紡織品、橡塑制品、化妝、糧食等產品及貯藏方面的殺菌。特種氣體主要包括高純氣體、電子氣體、標準氣體三大類，電子特種氣體（簡稱電子特氣）是特種氣體的 一個重要分支，是超大規(guī)模集成電路（IC）、平面顯示器件（LCD、LED、OLED）、太陽能電池等電子工業(yè)生產不 可或缺的原材料。